气垫式减振器：托起掩模台的操控精度

在微电子制造等精密加工领域，设备的稳定性直接决定着产品的精度。掩模台作为关键设备，其稳定性和操控精度备受关注。

气垫式减振器通过精密控制气流，在设备与支撑面之间形成一层气体垫，有效隔断外部振动的传递。这种独特的减振方式，能够实现六个自由度的精准调整，确保设备在高速运动过程中保持稳定性。

六自由度操控系统能够实时感知并调整设备的平移和旋转偏差，确保 Masks 的精准定位。承载力强、响应速度快的特性，使设备在高频振动环境下依然保持稳定运行。

在实际应用中，气垫式减振器的无接触式设计，避免了传统减振器因机械接触带来的磨损问题，延长了设备使用寿命。其智能化的控制算法，能够根据实际工况自动调节参数，确保最佳减振效果。

这种创新的减振方案，为微电子制造、光学仪器等领域提供了更精确、更稳定的设备解决方案，推动相关产业发展迈向更高水平。