SSC600/10步进扫描投影光刻机空气气浮减震器：精密制造的“守护者”

在半导体制造的精密世界中，每一步都必须精确到微米甚至纳米级别。上海松夏减震器有限公司推出的SSC600/10步进扫描投影光刻机空气气浮减震器，正是这一领域的核心技术之一，为高精度制造提供坚实的支撑。

什么是步进扫描投影光刻机？

步进扫描投影光刻机是半导体制造中的关键设备，用于在晶圆上精确投影电路图案。SSC600/10作为其核心组件，负责将光刻图案高精度地转移至晶圆表面。在这个高精度的制造过程中，振动是最主要的干扰因素之一。即使是轻微的振动，也可能导致光刻图案的偏移，影响芯片的良率和性能。

空气气浮减震器的作用

SSC600/10空气气浮减震器通过压缩空气在隔振器内部产生一个稳定的气垫，将光刻机与地面隔离，有效减少外界振动的干扰。这种设计类似于“空气的软垫”，能够吸收和隔离来自地面、设备运行以及环境的振动，确保光刻机在稳定、无抖动的环境中工作。

上海松夏的技术优势

上海松夏在空气气浮减震器领域拥有多年的技术积累，其SSC600/10产品采用独特的恒压控制技术，能够实时调整气垫压力，确保减震效果的稳定性。该减震器具有快速响应的特性，能够在毫秒级别内调整气垫高度，完美适应光刻机的动态需求。

应用前景与客户保障

SSC600/10已在多家半导体制造企业中得到广泛应用，显著提升了光刻工艺的精度和效率。上海松夏提供全面的技术支持和售后服务，确保客户在使用过程中无后顾之忧。

结语

SSC600/10步进扫描投影光刻机空气气浮减震器不仅提升了半导体制程的精度，更为行业的技术进步提供了可靠保障。上海松夏凭借其专业的技术和优质的服务，成为半导体制造领域的重要合作伙伴。