光刻机的”守护神”：SSB500系列空气弹簧隔振器的秘密

在集成电路制造过程中，光刻机是芯片生产的核心设备，任何微小的振动都可能导致图案偏移，影响最终芯片质量。
步进投影光刻机需要在微米甚至更小的尺度上进行精确操作，SSB500系列空气弹簧隔振器通过动态隔离外界振动，确保光刻机的稳定性，使光刻图案精确呈现。
这种隔振器采用空气弹簧技术，利用压缩空气提供隔振阻力，消除传统机械弹簧的磨损问题。精确的控制算法实时调整阻尼力，使隔振效果达到最佳状态。
SSB500系列具备以下优势：

1. 高稳定性：采用先进的控制算法，确保隔振效果恒定
2. 低噪音：空气弹簧设计有效降低运行噪音
3. 适应性强：可适应不同负载需求
4. 维护方便：无油设计减少维护成本

通过SSB500系列空气弹簧隔振器，可以显著提升光刻机的工作效率和产品质量，降低设备的维护成本，为高端半导体制造提供可靠保障。