SSB500系列空气弹簧隔振器:为半导体制造保驾护航
在芯片制造的关键设备——步进投影光刻机上,任何微小的振动都有可能造成致命的误差。SSB500系列空气弹簧隔振器正是为此而生。
这款隔振器通过空气弹簧提供恒定的支撑力,利用闭环控制系统实时监测和调整位置,确保光刻机始终处于理想工作状态。它能在2秒内快速响应外部扰动,有效隔离10Hz以下的低频振动,将隔振效率提升至95%以上。
SSB500系列隔振器采用了紧凑型设计,节省了宝贵的设备空间。其节能环保的特点也备受青睐。更重要的是,它能实时记录振动数据,帮助用户分析和优化设备运行状态。
在半导体制造领域,SSB500系列隔振器正成为保障高精度制造的关键设备,推动行业向更高水平发展。