气动隔振系统：芯片制造的“稳”态守护者

在芯片制造领域，光刻机是精密制造的核心装备，其稳定性直接决定着芯片的成品率。光刻机的工作环境必须具备极高的稳定性，任何微小的振动都有可能导致图形偏移，造成产品质量下降。上海松夏减震器有限公司推出的SSB500/50步进投影光刻机气动隔振系统，正是为解决这一难题量身打造的高精度隔振解决方案。

气动隔振系统的原理类似于大家熟悉的”气垫”。通过压缩空气产生的浮力，可以使设备隔绝外界振动的干扰。这种隔振方式具有响应速度快、隔振效率高的特点，适用于对稳定性要求极高的精密设备。

在实际应用中，这套系统表现出了显著优势：一是隔振效率高，在3-200Hz的宽频范围内隔振效率可达90%以上；二是响应速度快，可实时捕捉并抑制振动；三是易于维护，使用寿命长。特别是在半导体制造、精密仪器等领域，气动隔振系统都有着广泛应用。

这套系统尤其适用于SSB500/50步进投影光刻机。通过精确控制气垫压力和刚度，可以有效隔绝来自地面或设备本身的振动源，为光刻机创造一个稳定的”真空”环境，确保微米级的加工精度。可以说，气动隔振系统是精密设备的”稳态守护者”，在芯片制造过程中发挥着不可替代的作用。