AOI晶圆自动光学检测设备空气弹簧隔振器：精密设备的“稳定守护者”
在半导体制造领域，AOI（自动光学检测）晶圆检测设备是最关键的精密仪器之一。它通过高精度光学成像技术，检测晶圆表面的微小缺陷，确保芯片的质量和良率。这类设备对环境的稳定性要求极高，尤其是振动控制。任何微小的振动都会影响检测精度，甚至导致误判或设备损坏。因此，安装高效的隔振器是确保AOI设备正常运行的关键。
空气弹簧隔振器是一种基于气垫原理的隔振装置，通过压缩空气形成“空气弹簧”，有效隔绝外部振动对设备的影响。与传统机械弹簧隔振器相比，空气弹簧隔振器具有以下优势：
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超低频隔振性能：空气弹簧可以有效隔绝低频振动（
