晶圆对准设备气动隔振系统：守护半导体制造的“避震专家”

在半导体制造过程中，晶圆对准设备是实现高精度光刻的关键设备。要在0.1微米级别的精度上完成晶圆的对准与定位，任何肉眼不可见的振动都会导致产品报废。这就是气动隔振系统在其中发挥重要作用的原因。

气动隔振系统通过空气弹簧、气浮隔振器等隔振元件，在设备与基础之间建立一个”空气弹簧”，有效隔断外界振动的传递。这对处于精密制造环境中的晶圆对准设备至关重要。

与传统机械弹簧相比，气动隔振系统的优势显而易见：它能提供优异的低频隔振效果，尤其适合应对来自地面的低频振动。气动隔振系统具有非线性特性，能在设备重量变化时保持稳定的隔振效果。

上海松夏减震器有限公司在气动隔振领域拥有深厚的技术积累。公司采用优化设计的气浮隔振器，具有隔振性能优越、安装方便、维护简单等优点，已在多个半导体制造项目中得到成功应用。

气动隔振系统的性能直接影响到晶圆对准设备的定位精度和设备寿命。上海松夏的气动隔振产品，以其卓越的性能和可靠的品质，为半导体制造提供坚实的保障。