SSB380型步进投影光刻机气浮式隔振器：为精密制造保驾护航

在现代半导体制造中，光刻机是不可或缺的核心设备。SSB380型步进投影光刻机作为其中的佼佼者，以其高精度和稳定性著称。在这背后，气浮式隔振器发挥着至关重要的作用，确保光刻机在运行中不受外界振动干扰。

什么是气浮式隔振器？

气浮式隔振器是一种利用压缩空气在隔振器和地面之间形成气垫的设备。这种设计能够有效隔离振动，确保设备在运行过程中的稳定性。相比于传统弹簧或橡胶隔振器，气浮式隔振器具有更高的隔振效率，能够适应更复杂的振动环境。

在SSB380光刻机中的应用

SSB380型光刻机对环境稳定性要求极高，任何微小的振动都可能导致产品缺陷。气浮式隔振器通过实时调整气垫压力，将振动幅度控制在极低水平，确保光刻机的高精度运作。

应用效果

使用气浮式隔振器后，SSB380光刻机的生产良率显著提高，设备寿命也因此延长。其易于维护的特点降低了运营成本，为半导体制造提供了可靠的技术保障。

结论

气浮式隔振器在SSB380光刻机中的应用，不仅提升了设备性能，也为未来光刻技术的发展奠定了基础。它是现代精密制造中不可或缺的关键技术之一。