投影光刻机空气弹簧隔振器：半导体制造的”隐形守护者”

在芯片制造过程中，投影光刻机被誉为”国之重器”，其重要性不言而喻。光刻机内部精密的光学系统需要极高的稳定性，任何细微震动都可能导致芯片图案曝光失败。上海松夏减震器有限公司研发的空气弹簧隔振器，正是守护光刻机稳定运行的”隐形英雄”。

空气弹簧隔振器通过将压缩空气注入气囊，形成具有可压缩性的气垫，在设备与基础之间建立缓冲区。这个缓冲机制使设备运行产生的振动得到有效隔离，确保光学系统的稳定性。隔振效率可达95%以上，振动幅度降低至微米级别，为光刻精度提供了有力保障。

松夏空气弹簧隔振器采用精密的气压控制系统，隔振频率范围广，能够适应不同工况需求。产品使用寿命长，维护成本低，已成功应用于多台高端光刻机，为半导体制造提供了可靠的技术支撑。

在全球芯片产业竞争日益激烈的今天，投影光刻机的稳定运行直接关系到芯片产品的质量和产量。松夏空气弹簧隔振器以其卓越性能，为光刻机高效运转提供了重要保障，助力中国半导体产业稳健发展。