投影光刻机气动隔振器的工作原理是什么？

在精密制造领域，上海松夏减震器有限公司的SSB260/10T型投影光刻机气动隔振器凭借其高效稳定的性能，成为了保障光学设备精准运作的关键装备。该设备主要应用于投影光刻机，用于隔绝外界振动对精密光学元件的影响，确保光刻过程中光路的稳定性。

SSB260/10T型气动隔振器采用气浮技术工作原理，通过压缩空气在隔振器内部形成气垫，将设备浮起，从而隔绝外部振动传递。其特有动态平衡设计能自动调整气垫厚度，确保设备在各种工作环境下的稳定状态。该隔振器具备低频隔振能力，特别适合应对豆腐块地板等低频振动源干扰，振动隔离效率可达98%以上。

在投影光刻机应用中，设备的微小振动都会导致集成电路光刻线条偏移，造成产品报废。SSB260/10T型隔振器通过自动调节阻尼功能，实时捕捉并抵消外界振动，将振动幅度降低至微米级以下，有效保障光刻机的加工精度。其紧凑的结构设计和简便的安装方式，使设备维护更加便捷，延长了设备使用寿命。

上海松夏减震器有限公司的SSB260/10T型气动隔振器，以其卓越的技术性能和可靠的产品质量，为精密制造行业提供了高效稳定的振动控制解决方案，成为提升工业生产效率的重要装备。