投影光刻机是半导体制造的核心设备,其精度决定了芯片的制造水平。在光刻机运行过程中,外界的微小振动都会导致光刻图案的偏移,影响芯片的质量和良率。因此,为了保障光刻机的高精度运行,需要使用专门的减震设备来隔绝外界振动的干扰。
SSB260/10T型空气气浮减震器是专为精密光刻设备设计的高端隔振设备,采用先进的空气弹簧隔振技术和气浮隔振原理,能够有效隔绝0.5Hz至100Hz频段内的各种振动源干扰,为光刻机提供一个超稳定的运行环境。其采用高精度空气弹簧作为隔振元件,具有极高的刚度和抗侧向变形能力,同时通过主动控制技术,进一步提升减震效果。
相比传统橡胶隔振器,SSB260/10T空气气浮减震器具有以下显著优势:一是隔振效率更高,对低频振动具有优异的隔离能力;二是在高载荷下依然保持稳定的隔振性能;三是使用寿命更长,无固体材料疲劳问题;四是安装维护简单,可轻松调节。
SSB260/10T型空气气浮减震器的推出,标志着我国在高端精密设备减震领域取得重要突破,为半导体制造行业提供了高性能的解决方案。这一产品不仅适用于投影光刻机,还可广泛应用于精密测量仪器、微电子加工设备等领域,市场前景广阔。