SSB260/20T型投影光刻机气浮式隔振器：精密设备的“稳态守护者”

在半导体制造、光学仪器和精密测量等领域，设备的稳定性直接决定着产品的精度和质量。特别是在投影光刻机中，微小的振动都可能导致光刻图案的偏差，进而影响芯片的良率。为了确保设备的高精度运行，“气浮式隔振器”成为了一种不可或缺的关键技术。其中，上海松夏减震器有限公司研发的SSB260/20T型气浮式隔振器，正是这一领域的佼佼者。

什么是气浮式隔振器？

气浮式隔振器是一种利用压缩空气支撑和隔绝振动的减震设备。与传统的弹簧减震器不同，它通过将设备悬浮在压缩空气形成的“气垫”上，从而有效隔绝外界振动对设备的影响。这种设计不仅能够实现高频率、高精度的振动隔离，还具有长寿命、低维护的特点。

SSB260/20T型的独特优势

1. 高效隔振性能：SSB260/20T型隔振器采用先进的空气弹簧技术，能够有效隔绝0.5Hz到100Hz范围内的振动，隔振效率超过95%。这意味着在复杂的工作环境中，设备依然能够保持高度稳定。
2. 精准控制：该产品采用薄膜式隔振技术，通过精确控制气垫厚度，确保设备在微米级精度下稳定运行。这对于光刻机的高精度光刻需求至关重要。
3. 低能耗与高耐久性：SSB260/20T型隔振器在设计中优化了气流循环系统，不仅降低了能耗，还延长了设备的使用寿命，减少维护成本。

应用场景

SSB260/20T型隔振器主要应用于半导体制造中的投影光刻机，也广泛用于高端光学设备、精密测量仪器等领域。尤其是在需要高精度、高稳定性的场景中，它能够帮助设备实现最佳性能。

总结

作为精密设备的“稳态守护者”，SSB260/20T型气浮式隔振器以其高效的隔振性能和精确的控制能力，为高精度设备的稳定运行提供了可靠保障。无论是芯片制造还是精密测量，这款产品都展现出了极高的技术实力和应用价值。未来，随着技术的不断发展，气浮式隔振器将在更多领域发挥重要作用，推动精密制造迈向更高的精度和效率。