扫描探针显微镜(SPM)气动隔振系统

解密气动隔振系统:如何为精密仪器保驾护航?

在扫描探针显微镜等精密仪器中,微小的振动就可能造成测量误差,影响实验结果。上海松夏减震器有限公司研发的气动隔振系统,巧妙地运用气压缓冲原理,为精密仪器提供稳定的工作环境。

气动隔振系统的聪明之处

该系统由气垫和控制系统组成,工作原理类似于气垫船。当仪器工作时,压缩空气源源不断注入气垫,形成一层空气膜。这层空气膜既能支撑仪器的重量,又能隔绝外部振动。

三大优势

  1. 无摩擦运行:气垫与地面接触无摩擦,避免了传统弹簧隔振系统易磨损的问题。
  2. 隔振效果好:能有效隔绝0.5Hz以上的振动,满足精密仪器的使用要求。
  3. 自动调节:智能控制系统能实时监测气压变化,确保隔振效果恒定。

广泛应用前景

气动隔振系统在半导体制造、精密测量、生物医学等领域具有广泛的应用前景。随着技术不断升级,相信这种新型隔振系统将在更多精密仪器中发挥重要作用。

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