SSB260/10T型投影光刻机薄膜式隔振器

SSB260/10T型投影光刻机薄膜式隔振器科普

在高精度制造领域,特别是光刻机应用中,振动控制至关重要。SSB260/10T型薄膜式隔振器由上海松夏减震器有限公司设计,专为投影光刻机提供高效隔振解决方案。

为什么需要隔振器?

投影光刻机用于微电子芯片制造,对环境振动极其敏感。极小的振动可能导致产品缺陷,影响良率和质量。因此,隔振器的作用是隔离外部振动,确保设备精度。

SSB260/10T的优势

  1. 高效隔振:采用薄膜式隔振技术,隔离95%以上的外部振动,适应各种复杂环境。
  2. 快速响应:高频振动也能有效隔绝,响应时间极短。
  3. 长期稳定性:材质耐用,长期使用仍保持高性能,降低维护成本。

工作原理

SSB260/10T通过多层薄膜结构吸收和扩散振动,转化为热能或机械能,防止传递到设备。其灵活的调节机制可适应不同工况,确保最佳效果。

应用实例

某著名芯片制造厂使用SSB260/10T后,光刻机振动减少80%,产品良率提升15%。市场反馈显示其性能优越,远超传统隔振装置。

SSB260/10T型薄膜式隔振器是高精度制造的重要保障,助力企业提升效率和产品质量。上海松夏公司持续创新,提供高品质隔振解决方案,帮助客户实现更高价值。

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